1、目的
通过检测过滤器的泄漏量，发现过滤器及其安装的缺陷，如滤材中的小针孔，连接密封部位的缝隙等，以便及时采取补救措施。
2、范围
适用于公司洁净室（区）的过滤器泄露的检查。
3、职责
品管部检验员负责测试。
4、程序
4.1 测试方法：尘埃粒子计数扫描巡检法。
4.2 测试位置：对于10000级至300000级洁净度要求的洁净室。包括：层流工作台层流罩，以及设备上的过滤器。必须在现场对以下部位进行扫描巡查。
4.2.1 过滤器的滤材。
4.2.2 滤材与其框架内部的连接。
4.2.3 过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的连接。
4.2.4 支撑框架和墙壁或顶棚之间的连接。
4.3 检测仪器：尘埃粒子计数器。
4.4 检测程序：
4.4.1 被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80~120%之间运行。
4.4.2 用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2~3cm，以5~20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面封头胶和安装框架处进行扫描。
4.4.3 当周期为2min时，0.5μm粒子数≥20粒/L，表明泄漏量超标，需要修补或更换。
4.4.4 用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后，再进行扫描巡检。
4.5 检测频度
4.5.1 在安装或更换过滤器时应进行检测。
4.5.2 正常使用情况下，每年至少检测一次。
4.6 被检过滤器要填写《过滤器检漏测试记录》。
通过检测过滤器的泄漏量，发现过滤器及其安装的缺陷，如滤材中的小针孔，连接密封部位的缝隙等，以便及时采取补救措施。
2、范围
适用于公司洁净室（区）的过滤器泄露的检查。
3、职责
品管部检验员负责测试。
4、程序
4.1 测试方法：尘埃粒子计数扫描巡检法。
4.2 测试位置：对于10000级至300000级洁净度要求的洁净室。包括：层流工作台层流罩，以及设备上的过滤器。必须在现场对以下部位进行扫描巡查。
4.2.1 过滤器的滤材。
4.2.2 滤材与其框架内部的连接。
4.2.3 过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的连接。
4.2.4 支撑框架和墙壁或顶棚之间的连接。
4.3 检测仪器：尘埃粒子计数器。
4.4 检测程序：
4.4.1 被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80~120%之间运行。
4.4.2 用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2~3cm，以5~20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面封头胶和安装框架处进行扫描。
4.4.3 当周期为2min时，0.5μm粒子数≥20粒/L，表明泄漏量超标，需要修补或更换。
4.4.4 用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后，再进行扫描巡检。
4.5 检测频度
4.5.1 在安装或更换过滤器时应进行检测。
4.5.2 正常使用情况下，每年至少检测一次。
4.6 被检过滤器要填写《过滤器检漏测试记录》。
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